Gaminant tikslines medžiagas, karštos ir šaltos sistemos vaidina pagrindinį vaidmenį ir daro didelę įtaką medžiagų savybėms, gamybos efektyvumui ir įrangos tarnavimo laikui. Toliau pateikiami pagrindiniai karštų ir šaltų sistemų reikalavimai gaminant tikslines medžiagas.
I. Lydymosi ir sukepinimo nuorodos
1. Aukštos temperatūros valdymas
- Lydymosi procese tokia įranga, tokia kaip vakuuminės lanko lydymosi krosnys, turi veikti tokiomis sąlygomis, viršijančiomis medžiagos lydymosi tašką (pavyzdžiui, titano lydymosi taškas yra 1668 laipsnio) ir būti aukšto vakuume arba inertinėje dujų apsaugos aplinkoje, kad būtų išvengta medžiagos oksidacijos.
- Sukepinimo procesui reikalinga 1300-1500 laipsnio temperatūra. Tiksliai kontroliuojant kaitinimo greitį ir laikymo laiką, medžiagų dalelės gali būti metalurgiškai surištos, kad padidėtų tikslinės medžiagos tankis.
2. Aušinimo greičio valdymas
- Kai skysta medžiaga sukietėja, aušinimo greitis paveiks grūdų struktūrą. Norint išvengti įtrūkimų ar atskyrimo, reikalingas pelėsių temperatūros valdymas ar lėtas aušinimas.
Ii. Terminio apdorojimo jungtis
Tikslus temperatūros valdymas
- Atkaitinimo ar tirpalo apdorojimo temperatūra paprastai nustatoma esant 800-1000 laipsniui, o temperatūros svyravimui reikia kontroliuoti ± 5 laipsnį, kad būtų pagerintas medžiagos kietumas ir mikrostruktūra.
- Aušant gali būti naudojamas oro aušinimas ar vandens aušinimas, tačiau aušinimas turi būti vienodas, kad tikslinė medžiaga nesiginčija dėl šiluminio įtempio.
Iii. Dulkinimo proceso nuoroda
1. Veiksmingi aušinimo reikalavimai
- Tikslinis aušinimas: Vidutinio dažnio magnetrono dulkinimo proceso metu tikslinės medžiagos paviršius sukuria aukštą temperatūrą (temperatūra gali viršyti 200 laipsnių) dėl elektronų bombardavimo, todėl reikalinga vandens aušinimo sistema, pavyzdžiui, naudojant vandens striukę ar cirkuliacinį vandens šaldiklį, kad būtų galima kontroliuoti tikslinę temperatūrą žemiau 60 laipsnių, kad būtų išvengta tikslinės medžiagos deformacijos ar eksploatacinės savybės.
- Įrangos šilumos išsklaidymas: Vidutinio dažnio maitinimo šaltinis, magnetrono galvutė ir kiti dulkinimo įrangos komponentai įkaista dėl dabartinio odos efekto, todėl ją reikia laiku aušinti vandeniu arba aušinant orą, kad įranga galėtų veikti stabiliai.
2. Temperatūros kontrolės tikslumas
- aušinimo vandens temperatūra turi būti stabili esant ± 0.
Iv. Nuoroda po apdorojimo
1. Žingsnis po žingsnio aušinimo dizainas
- Naudojama trijų pakopų aušinimo sistema, o po to normalus temperatūros vandens valymas, ledinio vandens greitas aušinimas ir šaltas oro džiovinimas. Tai gali išvengti tikslinės medžiagos vidinio įtempio dėl staigaus aušinimo, taip pat gali pašalinti paviršiaus priemaišas.
- Pavyzdžiui, pirmojoje aušinimo kameroje valymui ir preliminariam aušinimui naudojama normali temperatūra cirkuliuojanti vanduo, antroji aušinimo kamera naudoja ledinį vandenį greitam aušinimui, o trečiojoje aušinimo kameroje džiovinimui naudojamas šalto oro pūtiklis.
2. Priekinių filtravimo cirkuliacija
- Aušinimo vandens cirkuliacijos sistemą reikia aprūpinti filtravimo įtaisu, pavyzdžiui, filtro ekranu ar filtro plokštele, kad būtų pašalintos priemaišos, tokios kaip metalinės šiukšlės, sugeneruotos tikslinės medžiagos apdorojimo metu, kad purkštukas neužgotų ar užterštų tikslinę medžiagą.